最終更新日:
2023-08-03 10:31:02.0
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化
『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、
微細な凹凸に塗布ができます。
微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、
キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で
あった部分にも均一な膜を形成可能。
反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。
【特長】
■微細な凹凸に塗布が可能
■低粘度から高粘度の薬液に対応
■数μmから数百μmの膜厚に対応
■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化
■超微粒子（低粘度液体なら5μm程度）から雨粒大までの噴射が1個のノズルで可能
■低圧でも動作可能
・チャンバー内の気流を制御
・前垂れ・ボタ落ち無し
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■立体構造への均一塗布 ■立体構造への埋込み塗布 ■高粘度材料の厚膜塗布 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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