最終更新日:
2023-02-06 11:56:54.0
録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。
ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の
「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、
気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。
高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、
エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示ができます。
【特長】
■ウェハサイズは4インチ～12インチに対応
■高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載
■貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
■エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■検査ウェハ：6インチ～12インチ（ホルダ変更で4インチ対応）
■検査対象：ウェハのエッジ部分 外周360度 角度設定1度単位
■ビューワー
・3方向 同時表示 ノッチ検査可能
・目視にてクラック、傷、異物、膜面状態、面荒れなどが視認可能
■スループット：10秒/枚～30秒/枚（条件による）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ウェハ・エッジ状態を見る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
