大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4～8インチまでの各モデルを用意しております。
QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。
【特徴】
〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。
〇コーティングモード/エッチングモード搭載
〇スパッタ薄膜作製はもちろん、マイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応
【仕様】
○適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd
〇スパッタ方式：DC/平行平板型
〇排気操作：手動式
〇排気装置：直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付)
〇寸法(W/D/H)：282/450/440mm
○適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd
〇スパッタ方式：DC/平行平板型
〇排気操作：手動式
〇排気装置：直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付)
〇寸法(W/D/H)：282/450/440mm
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SC-708 シリーズ |
| 用途／実績例 |
【用途】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射膜作製用途 ○サンプル表面親水化処理用途(エッチングモード) ○PDMS表面処理用途(エッチングモード) |
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