SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです。
「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。
デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。
イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。
試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。
SEM用試料の前処理用として最適です。
【特長】
○シリーズ最小のコンパクトコーター
○低価格／小型軽量タイプ
○熱ダメージ防止用間欠コート機能付
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【仕様】
○ターゲットサイズ：49ｍｍ dia.／ Au×1
○試料台サイズ：50ｍｍ dia.（T-S間調節範囲 - 20、30、40ｍｍ）
○排気操作：手動式
○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型
○高圧電源：1.2kV／0～9.9mA
○到達圧力：5Pa
○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製）
○タイマー：0～15min（最長30min）
○ガス導入機構：ニードルバルブ 導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L／min（自動リーク付）
○設置電源：単相 AC100V±10％ 50/60Hz 7A
○寸法・重量
→本体：160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg
→RP：295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg
○オプションターゲット：Ag、Pt、Pd、Au-Pd、Pt-Pd
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○ターゲットサイズ：49ｍｍ dia.／ Au×1
○試料台サイズ：50ｍｍ dia.（T-S間調節範囲 - 20、30、40ｍｍ）
○排気操作：手動式
○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型
○高圧電源：1.2kV／0～9.9mA
○到達圧力：5Pa
○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製）
○タイマー：0～15min（最長30min）
○ガス導入機構：ニードルバルブ 導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L／min（自動リーク付）
○設置電源：単相 AC100V±10％ 50/60Hz 7A
○寸法・重量
→本体：160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg
→RP：295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg
○オプションターゲット：Ag、Pt、Pd、Au-Pd、Pt-Pd
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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| 用途／実績例 |
【用途・実績例】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途 等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
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