実験目的に合わせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置
金属薄膜はもちろん、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置
【特徴】
○試料サイズに合わせた3種類のチャンバーをご用意
〇カソードサイズは2、４、6インチに対応
〇2インチカソードタイプは3源式にも対応 ⇒ 積層薄膜作製を実現
〇多彩なオプションをご用意
基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc.
〇仕様詳細については、お問い合わせください。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SVC-700RFシリーズ |
| 用途／実績例 |
【用途】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途 etc. |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| SVC-700RF I | 2インチカソード(デポダウン)専用 ベンチトップタイプ小型RFスパッタ装置(出力200W) |
| SVC-700RFII Type-I | 2/4インチカソード対応 ※2インチは3源式対応 研究開発用RFスパッタ装置(出力300W) |
| SVC-700RFII Type-II | 6インチカソード対応モデル 研究開発用RFスパッタ装置(出力300W) |
お問い合わせ
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サンユー電子株式会社
