SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。
【特徴】
○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。
○コーティング/エッチングモード搭載
〇デバイスの電極膜付けにも使用可能
【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇寸法(W/D/H):225/420/320
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇寸法(W/D/H):225/420/320
価格情報 | - |
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価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | SC-701AT |
用途/実績例 |
【用途】 ○電極膜付用 ○反射膜作製用途 etc. |
関連ダウンロード
全自動イオンコーター SC-701AT
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