エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ
『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して
膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。
エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能。
昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン(FKM仕様)や
カルレッツ(KLZ仕様)を採用しており、2000年から約20年におよぶ
市場供給を誇ります。
【特長】
■コンパクト設計で組込みに好適
■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能
■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能(SSBL-37.5A)
■昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン(FKM仕様)や
カルレッツ(KLZ仕様)を採用
■2000年から約20年におよぶ市場供給
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【製品仕様】
■サイズ
・SSBL(-20A、-30A、-37.5A共通):W123×H116×D296.5mm
■吐出圧力
・SSBL-20A:0.98~9.8MPa
・SSBL-30A:1.47~14.7MPa
・SSBL-37.5A:1.76~17.6MPa
■吐出流量
・SSBL-20A: 1.13L/min
・SSBL-30A : 0.71L/min
・SSBL-37.5A : 0.58L/min
■駆動エア圧:0.05~0.5MPa
■適応流体
FKM仕様:純水、IPA
KLZ仕様:NMP
■エア消費量:約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■サイズ
・SSBL(-20A、-30A、-37.5A共通):W123×H116×D296.5mm
■吐出圧力
・SSBL-20A:0.98~9.8MPa
・SSBL-30A:1.47~14.7MPa
・SSBL-37.5A:1.76~17.6MPa
■吐出流量
・SSBL-20A: 1.13L/min
・SSBL-30A : 0.71L/min
・SSBL-37.5A : 0.58L/min
■駆動エア圧:0.05~0.5MPa
■適応流体
FKM仕様:純水、IPA
KLZ仕様:NMP
■エア消費量:約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
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価格情報 |
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納期 |
お問い合わせください
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型番・ブランド名 | SSBL-XXシリーズ |
用途/実績例 |
【用途】 ■半導体洗浄装置(ジェット洗浄) ■スクラバー装置 ■リフトオフ装置 ■研磨パッドのドレッシング など |
ラインアップ
型番 | 概要 |
---|---|
SSBL-20A-FKM | |
SSBL-20A-KLZ | |
SSBL-30A-FKM | |
SSBL-30A-KLZ | |
SSBL-37.5A-FKM | |
SSBL-37.5A-KLZ |
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株式会社テクノメイト