株式会社テクノメイト

昇圧ポンプユニット UPPU-10LR

最終更新日: 2022-12-14 16:13:06.0

  • カタログ

各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに

『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。
昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。

【特長】
■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給
■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用のモデル

※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【仕様】
〇吐出圧力:0.4MPa max
〇吐出流量:7L毎分 0.2MPa時
〇駆動エア圧力:0.2~0.4MPa
〇エア消費量:50L毎分
〇脈動防止:アキュムレータ内蔵
〇接液配管材質:テフロンPFA、または、PTFE
〇漏水検知:ワイヤー式漏水検知器内蔵
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 UPPU-10LR
用途/実績例 【用途】
■各種洗浄装置
■スピンドルモータ冷却
■バリ除去
■ウエハスピン洗浄用

【実績例】
工場設備として使用
ラインアップ
型番 概要
UPPU-10LR

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