ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。
【特長】
■インバータ内蔵により流量特性を可変可能
■外部信号により運転、停止が可能
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【仕様】
〇サイズ
・W598×D548×H1224(mm)
○重量 150Kg
○吐出流量、圧力
・33.5L/分、5MPa
○供給エア圧:0.4~0.7MPa
○純水仕様圧力:0.3~0.4MPa
○アラーム機能
供給水圧低下
インバータ出力異常
〇サイズ
・W598×D548×H1224(mm)
○重量 150Kg
○吐出流量、圧力
・33.5L/分、5MPa
○供給エア圧:0.4~0.7MPa
○純水仕様圧力:0.3~0.4MPa
○アラーム機能
供給水圧低下
インバータ出力異常
価格情報 | - |
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納期 |
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型番・ブランド名 | KPM-5030 |
用途/実績例 |
【用途】 ・研磨ウエハの洗浄 |
ラインアップ
型番 | 概要 |
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KPM-5030 |
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株式会社テクノメイト