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立方晶窒化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カーボン
短納期! 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC(立方晶窒化珪素)コーティングカーボン部品。
MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。
※長寿命、密着性・均一性に優れたウエハートレーを短納期で販売致します。
※ 母材は高純度グラファイトのみとなります。
※ ご支給材料へのコーティングは行っておりませんのでご了承下さい。
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