PVD、CVDなどの薄膜実験用基板加熱ヒーター均一性・昇温特性・制御性に優れたヒーターです。RF/DCバイアス仕様も可能。
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。
PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、CVDなどの各種真空薄膜実験、高温真空アニール、高温試料解析用基板ステージ、などに応用いただけます。
様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。
【特徴】
●セミカスタム製品です。ご要望に応じて設計製作いたします。
●予備ヒーター素線との交換が容易
●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱）
●RF/DCバイアス、基板回転などにも対応
【標準付属品】
● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き
● 取付用スタッドボルト
【オプション】
● RF（150W）/DC（1KW）バイアス印加
● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他）
● 基板保持クリップ
● 取付ブラケット
● 基板ホルダー
● ホルダー設置用タップ穴加工
● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他）
● 過昇温用追加熱電対
● ベースフランジ、真空導入端子
【対応基板サイズ】
◉ Φ1inch〜Φ6inch
【熱電対】
◉ Kタイプ、又はCタイプ
【ヒーター素線材質】
◉ Max 1800℃：Graphite, C/Cコンポジット素線_（真空中, Ar, N2）
◉ Max 1500℃：SiCコーティング素線_（真空中, Ar, N2, O2）
◉ Max 1600℃：タングステン素線_（真空中, Ar, N2, He, H2）
◉ Max 1400℃：タンタル素線_（真空中, Ar, N2, He, H2）
◉ Max 900℃：カンタル 素線（真空中, Ar, N2, He ,O2, H2）
◉ Max 900℃：NiCr素線_（真空中, Ar, N2, He, H2, O2, 大気
◉ Φ1inch〜Φ6inch
【熱電対】
◉ Kタイプ、又はCタイプ
【ヒーター素線材質】
◉ Max 1800℃：Graphite, C/Cコンポジット素線_（真空中, Ar, N2）
◉ Max 1500℃：SiCコーティング素線_（真空中, Ar, N2, O2）
◉ Max 1600℃：タングステン素線_（真空中, Ar, N2, He, H2）
◉ Max 1400℃：タンタル素線_（真空中, Ar, N2, He, H2）
◉ Max 900℃：カンタル 素線（真空中, Ar, N2, He ,O2, H2）
◉ Max 900℃：NiCr素線_（真空中, Ar, N2, He, H2, O2, 大気
| 価格情報 | 詳細は当社までお問い合わせください。 |
|---|---|
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※ 仕様により納期が変動します、当社までお問い合わせ下さい。 |
| 型番・ブランド名 | BHS series |
| 用途／実績例 | PVD（スパッタ, ALD, PLDなど）CVD基板加熱ヒーター、分析装置試料加熱用ステージ、高温基板加熱ステージ・ホルダー、など。 |
詳細情報
BHS-1inchヒーター
BHS-2inchヒーター
BHS-4inchヒーター
関連ダウンロード
BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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テルモセラ・ジャパン株式会社
