最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉(カーボン炉、タングステンメタル炉) 小型・省スペース実験炉
◉最高使用温度 Max2000℃
◉カスタマイズ自在なヒーター構造:
- 円筒状ヒーター:るつぼ内サンプル焼成(固形物、粉体、粒形、ペレット形状サンプル用)
- 面状ヒーター:Φ1"〜Φ6"ウエハー、小片チップ焼成用
◉PLCセミオートコントロール
タッチパネル画面で温度調節計以外の全ての操作を行います。
煩わしいバルブ開閉・ポンプ起動操作が不要、焼成作業前の「真空/パージ」サイクルと焼成作業後の「ベント」を1ボタンで自動シーケンスで行います。
◉MFC最大3系統 自動流量制御(又は手動調整)
◉APC自動圧力コントロール
◉作業中の安全を確保
冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。
◉小型・省スペース
幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm(*ロータリーポンプ筐体内設置)
実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。
本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけます。
・ヒーター:C/Cコンポジット, PGコートC/Cコンポジット(カーボン炉), タングステン(メタル炉)
・断熱材:グラファイトフェルト材(カーボン炉), タングステン/モリブデン(メタル炉)、又はW/Mo多層シールド
・面状ヒーター加熱範囲:Φ2inch〜Φ6inch
・円筒状ヒーター加熱範囲:Φ30〜Φ80 x 深さMax100(H)mm
・7inchタッチパネル操作
・デジタル真空計
・MFC最大3系統自動調整(又はフロートメーター手動流量調整)
・温度制御:デジタルプログラム調節計、C熱電対
・到達真空度:1x10-2Pascal(*但し空炉の場合)
・一次側電源仕様:AC200V 50/60HZ 三相 50A NFB
・冷却水:8L/min, 0.4Mpa 25〜30℃
◆オプション◆
・真空排気系:ロータリーポンプ, 高真空ポンプ, バルブ類
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Mini-BENCH-prism |
用途/実績例 |
◆主な応用アプリケーション◆ ・新素材開発 ・材料分析 ・その他各種先端材料開発に応用 |
関連ダウンロード
真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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テルモセラ・ジャパン株式会社