最終更新日:
2022-12-02 13:41:08.0
消耗したスパッタリングターゲット材の生産やリメイク！ターゲット材の内製化が可能
吉田キャスト工業の『スパッタリングターゲット材』についてご紹介します。
チタンターゲット材に対応する高真空炉専用機対応。ご使用希望の金属や
溶解量などから適切な装置を選択し、必要であればカスタマイズを行います。
金属により加圧式又は遠心式、インダクション溶解又はアーク溶解が
あり、また、ご希望のサイズの鋳型の制作も可能です。
【特長】
■移動設置可能なコンパクトサイズの装置
■金属により加圧式又は遠心式、インダクション溶解又はアーク溶解がある
■ご希望のサイズの鋳型の制作も可能
■溶解は、金属により大気・真空不活性ガス置換雰囲気が選べる
■ターゲット材の内製化が可能
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■金属をルツボに入れて、インダクション（高周波誘導加熱）で溶解後、カーボンや銅鋳型に
注ぎ入れ、必要であれば加圧で圧入
■溶解時に圧力をかけることにより融点の低い元素のべーパーを抑えることが可能
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【実例】 ■金IP用のターゲット材 ■チタンターゲット材 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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