自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner
簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能搭載のオートマスクアライナ―。オーダーメイドも可能!
最終更新日:
2020-11-24 11:56:42.0
反りウェハも搬送!ベルト搬送式自動レジスト塗布装置(コーター)
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です!
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在!2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状(円形、扇等)、圧力、流量などを自由に選択できます。
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク(PEB)対応自動レジスト現像装置です。
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
コンパクト!手動フォトレジスト現像装置(マニュアルデベロッパー)
少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
半自動フォトレジスト現像装置(セミオートデベロッパー)
自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です!
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
コンパクト!装置幅300mm自動レジスト塗布装置(コーター)
装置「幅」が300mm!ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装置作製実績があります(2インチウェハ使用)
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
大型角基板用(~430mm)回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。
最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製できます(例、2・4インチ、6・8インチなど)
最終更新日:
2024-03-21 10:41:05.0