当製品は、枚葉式で現像、前面露光(反転露光)、ベーク、クーリング機能を搭載。
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
TMAH等多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■低価格を実現
■自動サイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■生産量に合わせたラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ:2組
■スピン現像ユニット:2組
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12"
■現像ノズル:1組/CUP
■リンスノズル:1組/CUP
■ベークユニット:2組(Max200℃)
■クーリングユニット:1組
■センタリングユニット:1組
■UV露光ユニット(LED光源もお選びいただけます)
■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット)
その他オプション多数!
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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