最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです
枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。
ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。
薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。
液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお応えできます。
静止現像中の揺動機能も搭載！
（低回転と停止を繰り返して液を動かします）
枚葉式で現像、、リンス、ベーク、クーリング機能を搭載。
お客様のニーズと生産量に合わせて、設計から製造・販売いたします。
TMAH等多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■現像結果の高い再現性
■薬液使用量の低減
■自動ウエハサイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■生産量に合わせた設計が可能
デモ設備を常設しておりますので、デモのご検討をお願いします！
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | パワーデバイス、SAWフィルター、LED、LD、通信関係の分野での販売実績がございます。 |
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