最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。
1流体スプレー方式の現像装置です。
現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。
大型基板や厚膜の現像に最適です。
スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。
マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
TMAH等多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■1流体スプレーを搭載（パドルと併用可）
■自動ウエハサイズ認識
■フットプリントの低減
■生産量に合わせたラインアップ
デモ設備を常設しておりますので、デモのご検討をお願いします！
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | パワーデバイス、SAWフィルター、通信関係の分野での販売実績がございます。 |
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