最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。
当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。
薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。
マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。
研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。
TMAH等多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■低価格を実現
■コンパクト！
■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能
■多彩な薬液に実績あり
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■スピン現像ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP～
■リンスノズル：1組/CUP
■装置サイズ：（例）1200×800×1800(Φ4"本体・薬液供給一体)
その他オプション多数！
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | 研究開発用途、少量生産などで問い合わせを受け、パワーデバイス、通信関係の分野での販売実績がございます。 |
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