最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。
自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では
工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです！
御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので
新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください！
TMAH等多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■自動搬送機能
■低価格を実現
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■スピン現像ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP～
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：1組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1300×1450×1800(Φ4"本体・電源・薬液一体)
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 3～4ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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