株式会社アイテス

イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析

最終更新日: 2023-01-12 17:18:04.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

顕微ATR法により、異物のIRデータを取得。有機物の面内分布の観察及び秒単位で変化する有機物の状態測定が可能です。
■サービス概要
1.顕微ATR法:約5μm以上あれば異物のIRデータ取得可能
2.面分布像:有機物の面内分布の観察が可能
3.時間変化:秒単位で変化する有機物の状態測定が可能
■特長
1.測定方法:イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示
2.測定領域:透過法/反射法 175μm、ATR法 35μm
3.空間分解能(ピクセルサイズ):透過法/反射法 5.5μm、ATR法 1.1μm
■適用例
 ポリエチレンフィルム上の滑剤の分析

関連情報

【成分分析】GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析計
【成分分析】GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析計 製品画像
【分析対象物の例】
■オイル
・各種成分の定性
■プラスチックやフィルム、ゴム製品、基板等
・添加剤や残存溶剤等の定性分析(ヘッドスペース、又はパイロライザー)
・分解温度での発生ガス分析から、ポリマー種を推定(パイロライザー)
■液晶
・サンプル間での比較により、微量不純物を定性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製品の信頼性トータル・ソリューション
半導体製品の信頼性トータル・ソリューション 製品画像
半導体製品の一連の工程のサンプル作製から信頼性評価試験、分析故障解析までトータルのソリューションを提供します。必要なサービスを必要なだけ、ご利用いただけます。

トータルソリューションとは、半導体製品に関わる部品・装置・材料の開発評価の困難(評価試料が準備できない/評価方法が不明、事前データが無い等)試料作製から、評価・解析まで御支援します。


【試料作製】
 ●ウェハ工程
  ■汎用TEGの手配
  ■ダイシング
  ■チップソート
  ■外観検査
  ■梱包(チップトレイ・エンボステーピング)
 ●パッケージング工程
  ■ダイボンディング
  ■ワイヤボンディング
  ■フリップチップ実装
  ■バンプ接合
  ■パッケージ組立
品質技術トータルソリューション
品質技術トータルソリューション 製品画像
電子部品の企画・設計・開発段階から、量産、出荷後に至るまで、あらゆるフェーズで発生する品質問題に、長く培われた技術と経験をもとにスピーディーで的確なソリューションを提供します。
イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析
イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析 製品画像
■特徴

1.測定方法
  イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示

2.測定領域
  透過法/反射法 175um、ATR法/35um

3.空間分解能(ピクセルサイズ)
  透過法/反射法 5.5um、ATR法 1.1um
微小異物分析のためのサンプリング技術
微小異物分析のためのサンプリング技術 製品画像
■さらに強化されたマイクロサンプリングツール
 新規導入されたマイクロサンプリングツールは
 顕微鏡下でマニュピレータを用い
 正確に狙った異物を捕らえます

■5umに満たない微小異物でも
 多数集めてFT-IRにて測定することが可能です
TOF-SIMSによる表面分析
TOF-SIMSによる表面分析 製品画像
・TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し
 励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。
・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり
 質量の分離が出来ます。
液晶ディスプレイの信頼性トータル・ソリューション
液晶ディスプレイの信頼性トータル・ソリューション 製品画像
■LCD製品の信頼性試験
 豊富な試験メニュー
 試験前後の目視検査
 によりお客様の負担を軽減

■LCD製品の不具合解析
 故障モード、関連領域、分析・解析対象、主な手法を独自で関連付け
 迅速・的確な解析を実現します
【資料】液晶材料とその分析技術
【資料】液晶材料とその分析技術 製品画像
【その他の掲載内容】
■LCP分子構造解説(一例)
■アイテス保有のGC-MS装置
■低分子液晶
■低分子液晶構造解説(一例)
■GC-MS分析による低分子液晶(for LCD)のTICデータ、および検出物質
■液晶構造機能解説

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
顕微ラマンによる多層材料分析
顕微ラマンによる多層材料分析 製品画像
【分析事例】
■液晶パネルに使用されている偏光板は、トリアセチルセルロース層で
 ポリビニルアルコール(PVA)にヨウ素を添加した層を挟んだ構造
■顕微ラマン分光光度計にて偏光板を深さ方向に連続して測定したところ、
 表面から深さ方向に向かってTAC→PVA+I2→TAC→粘着層と変化する様子が観察できた

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異物分析のための試料加工技術
異物分析のための試料加工技術 製品画像
【多層膜中に埋もれた異物の掘り出し】
■多層薄膜中の異物
■⾯層の切り取り
■Siウェハ上に載変えサンプリングFT-IR分析
■超音波振動する切削刃を動かして切削

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『化学分析の流れ』
『化学分析の流れ』 製品画像
当社は半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える
様々なサービスを提供しております。

製品開発、不良・故障解析、信頼性評価などでお悩みの方はぜひご相談ください。
ABS樹脂のFT-IR分析
ABS樹脂のFT-IR分析 製品画像
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顕微FT-IRイメージング測定
顕微FT-IRイメージング測定 製品画像
【イメージング測定の手順】
1.イメージング測定を行う範囲を決める
2.アパーチャ径とステップ幅を決めてから1.で指定した範囲を測定
3.得られたスペクトルからイメージング像を描く際に基準とするピークを選ぶ
4.選択したピークの高さや面積などを基準にしてイメージング像を描く

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