株式会社マツボー

大気圧用ラングミュアプローブ

最終更新日: 2014-03-14 10:34:33.0

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、
 熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。

・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。

・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。
 (2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)

・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。
 (2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)

・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ
 分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布
 が分析できます。

・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。
 プローブ先端の取替えも容易。

・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。
価格帯 お問い合わせください
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用途/実績例 ・大気圧プラズマプロセスの開発、診断
・殺菌、医療応用
・核融合プラズマ、プラズマ推進

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