世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。
・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、
熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。
・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。
・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。
(2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)
・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。
(2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による)
・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ
分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布
が分析できます。
・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。
プローブ先端の取替えも容易。
・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。
大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位
世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位
世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 |
・大気圧プラズマプロセスの開発、診断 ・殺菌、医療応用 ・核融合プラズマ、プラズマ推進 |
お問い合わせ
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株式会社マツボー