試料にダメージを与えず、コンタミなしで真空チャンバーと試料をクリーニング致します。
電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去致します。試料へのダメージやコンタミは発生致しません。
プラズマの強度をモニタリングして自動で圧力等を制御できます。
■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。
■プラズマの発光がモニタリングできます。
■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。
■自動でガス流量を制御可能。
■プラズマの発光がモニタリングできます。
■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。
■自動でガス流量を制御可能。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | PIE Scientific LLC (アメリカ) |
| 用途／実績例 |
電子顕微鏡 SEM,FIB,TEM,EBL,CD-SEM,EBR,EUVL, ALDや高圧チャンバー |
詳細情報
クリーニング前
プラズマクリーナの使用前で、コンタミに汚染させております。
クリーニング後
プラズマクリーナでクリーニング後の写真です。
コンタミは、完全に除去されております。
お問い合わせ
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株式会社マツボー
