株式会社マツボー

RF スペクトラルメータ

最終更新日: 2019-06-11 11:12:03.0

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RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り向上に貢献いたします。

アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。

関連動画

・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。
・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。
価格帯 お問い合わせください
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用途/実績例 半導体ファンドリー様
半導体製造装置メーカ様
半導体製造装置ユーザー様
RF電源メーカ様
マッチングボックスメーカ様
大学、研究機関様

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