真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。
PARAM社製、真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。
【特長】
○真空下で使用できます。
○発塵無くオゾンを分解します。
○真空ポンプ前段に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。
【仕様】
型式 OZ-1000
入口オゾン濃度 15%以下
出口オゾン濃度 0.1ppm以下
最大処理流量 5sccm以下
コンダクタンス 100L/min以上
※詳細はお問い合わせ下さい。
※上記以外にご希望される仕様がございましたらお問い合わせ下さい。
○真空下で使用できます。
○発塵無くオゾンを分解します。
○真空ポンプ前段に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。
【仕様】
型式 OZ-1000
入口オゾン濃度 15%以下
出口オゾン濃度 0.1ppm以下
最大処理流量 5sccm以下
コンダクタンス 100L/min以上
※詳細はお問い合わせ下さい。
※上記以外にご希望される仕様がございましたらお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | 電子部品・半導体、真空機器、研究開発 |
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株式会社マツボー
