粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置 ナノスケールの粒子を成膜できます。
研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。
■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール
■３種類の容量のリアクターサイズ
■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール
■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能
■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転
■粒子容器は取り外し可能
＊量産用の装置ラインアップもございます。
研究開発用ラボ機からスケールアップした量産機のご提案ができます。
粒子ALDのソリューションプロバイダーとして次の事業を行っております。
■研究開発サービス
■受託成膜（ミリグラムからキログラムまで）
■装置販売（ラボ機から量産機まで）
粒子ALDのソリューションプロバイダーとして次の事業を行っております。
■研究開発サービス
■受託成膜（ミリグラムからキログラムまで）
■装置販売（ラボ機から量産機まで）
| 価格情報 | ご相談願います。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ ご相談願います。 |
| 型番・ブランド名 | FORGE NANO社 |
| 用途／実績例 |
＜材料＞ - リチウムイオン電池 - 工業用粉末 - 他、色々な粒子材料 ＜用途＞ - 表面保護 - 耐腐食 - 機能性付加 - 安定化 - 他 |
詳細情報
研究開発向け
粒子用 ALD （原子層堆積）装置
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株式会社マツボー
