１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。 パルスモニタとしても最適です。
・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。
・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。
・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。
・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
半導体ファウンドリの量産現場で、エッチング装置、CVD、スパッタ等のパルスモニター、アーク検知器として実績がございます。 |
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株式会社マツボー
