スパッタ・CVD・蒸着の複合機
他社との違いは、BOC社とのライセンスにより、回転式カソード(ターゲット使用効率70%)とSiOx(C)フィルムを特殊なCVDによって成膜可能です。またラインスピードを2000倍まで可変可能です。
高性能な透明導電フィルムや透明バリアフィルムを乾式(スパッタやCVDや蒸着)で製造するロールコーターです。
価格情報 | - |
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納期 | ~ 1ヶ月 |
型番・ブランド名 | 英国・Valmet社製「OPTILAB] |
用途/実績例 |
透明導電フィルム、透明バリアフィルム、アルミ蒸着フィルム その他金属蒸着フィルム製造用に使用されております。 |
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株式会社マツボー