Arイオンミリング加工
機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です
最終更新日:
2016-02-18 11:32:02.0
[RBS]ラザフォード後方散乱分析法
固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です
最終更新日:
2016-02-18 11:48:26.0
OBIRCH分析(光ビーム加熱抵抗変動法)
OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です
最終更新日:
2023-04-20 10:55:22.0
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。
最終更新日:
2019-03-20 11:23:36.0
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