一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】TFT配線交差部の深さ方向分析

最終更新日: 2024-05-28 13:47:29.0
微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能

二次イオン質量分析法(SIMS)を用いて、市販TFT液晶ディスプレイのデータ信号配線とゲート電極配線の交差部(4μm×10μm)を、基板側から分析(SSDP-SIMS)した例を示します。
基板側から測定(SSDP-SIMS)を行うことにより、表面側の高濃度層や金属膜などの影響がないデータの提供が可能となります。

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用途/実績例 ディスプレイの分析です

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