一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

最終更新日: 2022-11-14 17:19:52.0
FFTM法による格子像解析

Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFTM解析により、(1)画像のx, y方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。
化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。

基本情報

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用途/実績例 測定法:TEM
製品分野:照明・光デバイス
分析目的:構造評価・応力・歪み評価

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