一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】ZnO膜表面の形状観察

最終更新日: 2016-02-10 15:19:48.0
広域の表面形状観察が可能

走査型白色干渉計(光干渉計)は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm~4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。

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