一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】MEMS中ドーパントの三次元分布評価

最終更新日: 2016-08-25 14:07:09.0
イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます

市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました(測定領域:75μm角、深さ:約1.5μm)。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。
注) イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。

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用途/実績例 LSI・メモリの分析です

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