一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

最終更新日: 2016-08-25 14:19:40.0
SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価可能

他手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例(図1)とIII-V族半導体のバックグラウンドレベルを紹介します(表2)。III-V族半導体以外にも、金属膜・絶縁膜など各種材料で標準試料をとりえ揃えており、高感度な定量分析が可能です。半導体基板など各種材料のバルク分析や半導体プロセス中のガス成分の混入評価などに最適です。

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