一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SiON膜の評価

最終更新日: 2016-02-05 11:52:56.0
膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量(単位:atoms/cm2)を高い精度で評価が可能です(図1)。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値幅を算出(図3)することが可能です。

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用途/実績例 LSI・メモリの分析です

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