一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上

最終更新日: 2016-02-12 13:33:23.0
SIMS:二次イオン質量分析法

■極浅深さ方向分布の測定法
(1)斜入射法における深さ方向分解能の限界
斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました(図1)。斜入射法においては、クレータ底面の粗れにより深さ方向分解能の向上に限界があることがわかります(図2)。
(2)垂直入射法による深さ方向分解能の向上
垂直及び斜入射法におけるBピーク(δドープ試料)の半値幅と一次イオンエネルギーの関係を図3に示します。斜入射法では分解能の向上に限界のあった一次イオンエネルギー1keV以下の領域において、垂直入射法では分解能の向上が達成されています。

基本情報

詳しいデータはカタログをご覧ください

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 微量不純物濃度評価・組成分布

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

製品・サービス一覧(640件)を見る