［GDMS］グロー放電質量分析法

最終更新日: 2023-04-20 10:59:27.0

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。

・微量元素（ppbレベル）から主成分レベルまでのバルク分析が可能
・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能
・導電性材料、及び補助電極を用いることで半導体材料、絶縁物材料も分析が可能
・質量分解能が高く、妨害イオンの除去が可能
・水素と希ガスを除く、Ｌｉ以下のほとんどの元素について測定が可能
・同位体比測定が可能

関連リンク - https://www.mst.or.jp/method/tabid/135/Default.asp…

基本情報

Ar雰囲気下で、試料をマイナス極としてグロー放電を行います。Arガスが試料に衝突することにより試料構成元素がスパッタされます。スパッタにより放出された元素は大部分が中性ですが、Arプラズマ中でイオン化されます。
イオン化された原子を二重収束型質量分析器で測定し、元素の定性及び濃度の算出を行います。

試料内容や分析目的により、試料の加工法を選択します。
ピンセル方式：試料の加工が容易な場合。バルク分析に向いています。
フラットセル方式：試料の表面が平坦な場合。膜の分析や深さ方向分析に向いています。

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用途／実績例	・半導体材料中不純物の分析・高純度金属の分析・合金中不純物の分析・めっき膜中不純物の分析・粉体中不純物の分析

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