一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

[Slice&View]三次元SEM観察法

最終更新日: 2016-02-18 13:28:55.0
FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます

FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工(Slice)とSEMによる観察(View)を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます。また、SIM(Scanning Ion Microscope)像についても同様にSlice & Viewが可能です。

・二次電子(Secondary Electron;SE)像、反射電子(BackScattered Electron;BSE)像、走査イオンSIM(Scanning Ion Microscope)の観察が可能

基本情報

FIBで断面加工を行ってSEMで観察する工程を繰り返すことで連続SEM観察結果を取得します。
SEMデータをソフトウェア上で統合することで、三次元構築像を得ることが可能です。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・半導体デバイスの立体的な形状評価
・信頼性試験後の金属配線中ボイド・断線の探索
・パターン合わせずれ量評価
・層間膜の埋め込み性評価
・多層構造内にある異物の発生工程調査
・コンタクトの接触面積の評価
・薄膜のカバレッジの三次元評価
・Wコンタクト内シームの形状評価
・光ディスク記録層ピットの形状観察
・積層構造界面のラフネス評価

詳細情報

打ち合わせ.jpg
まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
セミナー.jpg
訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

製品・サービス一覧(660件)を見る