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[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)

最終更新日: 2019-03-20 11:23:36.0
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS: Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。
多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。

・全元素範囲(B~U)の同時分析が可能(付属装置によりBeの検出も可)
・0.1nmφ~の細い電子線プローブで測定が可能
・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能
・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能

基本情報

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの
で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

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用途/実績例 ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析
・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析
・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析
・Niシリサイドの形状、組成分析

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