【測定法】電子顕微鏡観察・分析
◆AES（オージェ電子分光法）
◆SEM（走査電子顕微鏡法）
◆EBIC（電子線誘起電流法)
◆EBSD（電子後方散乱回折法）
◆EDX（エネルギー分散型X線分光法）
◆EPMA（電子線マイクロ分析法）
◆TEM（透過電子顕微鏡法）
◆EELS（電子エネルギー損失分光法)
◆SIM（走査イオン顕微鏡法)
◆SEM（走査電子顕微鏡法）
◆EBIC（電子線誘起電流法)
◆EBSD（電子後方散乱回折法）
◆EDX（エネルギー分散型X線分光法）
◆EPMA（電子線マイクロ分析法）
◆TEM（透過電子顕微鏡法）
◆EELS（電子エネルギー損失分光法)
◆SIM（走査イオン顕微鏡法)
［Slice&View］三次元SEM観察法
FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます
最終更新日：
2016-02-18 13:28:55.0
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です
最終更新日：
2016-02-18 13:26:38.0
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって、物質の構成元素や電子構造を分析
最終更新日：
2016-02-18 13:38:29.0
［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。
最終更新日：
2019-03-20 11:23:36.0
![[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/371/2000823132/IPROS05351729614598424968.jpeg?w=100&h=100)
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