［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

最終更新日: 2019-03-20 11:23:36.0

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。
多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。

・全元素範囲（B～U）の同時分析が可能（付属装置によりBeの検出も可）
・0.1nmφ～の細い電子線プローブで測定が可能
・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能
・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能

関連リンク - https://www.mst.or.jp/

基本情報

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの
で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	■微小領域（～1μm）の組成分析・面分析・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析・Niシリサイドの形状、組成分析

詳細情報

まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください！

訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください！

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望事例送付希望連絡希望訪問希望その他
目的必須	新規購入既存入れ替え仕様確認購入検討中情報収集中顧客への提案
添付資料
お問い合わせ内容	【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。