一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

[SIM]走査イオン顕微鏡法

最終更新日: 2016-02-18 13:42:34.0
高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能

・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能
・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる
・金属結晶粒観察が可能(Al, Cu等)
・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm, SEM:0.5nm)

■MST所有装置の特徴
・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能
・FIB(集束イオンビーム)加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能(Slice&View)

基本情報

固体試料にイオンビームを照射すると二次電子が発生します。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じます。この像を走査イオン顕微鏡(Scanning Ion Microscope: SIM)像といいます。
電子線照射によってもこのようなコントラスト像が得られますが、イオンビームの方が顕著に現れます。
金属多結晶のSIM像を観察することで結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・通電経路の可視化断面観察(導電性コントラスト)
・Al, Cu, Feなどの結晶粒観察(チャネリング像)
・多角傾斜による結晶粒径解析

詳細情報

打ち合わせ.jpg
まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
セミナー.jpg
訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

製品・サービス一覧(640件)を見る