一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】ウォーターマーク原因調査

最終更新日: 2017-08-11 14:59:50.0
TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。
ウェハや製品上に異常箇所(変色・付着)が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。

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用途/実績例 化学結合状態評価・組成分布評価

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