一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】パワーデバイスのドーパント及びキャリア濃度分布の評価

最終更新日: 2016-08-25 14:51:30.0
複合解析で活性化率に関する評価が可能

SIMSによる不純物濃度分布とSRAによるキャリア濃度分布を比較することで、ドーパントの活性化状態がわかるだけでなく、整合しない領域には未知の不純物の存在、構造的な問題の内在が示唆されます。
Profile Viewerを用いれば、お手元でSIMSのデータとSRAのデータを重ね、解析することが可能です。
一例として、市販のダイオードチップについて、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部(図1)および裏面について、SIMSとSRAを行った事例をご紹介します。

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