一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

最終更新日: 2016-08-25 10:16:27.0
最大70×70mm領域の組成分布評価

XPS多点測定による広域定量マッピングの事例をご紹介します。
シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価いたしました。ピーク強度ではなく存在量(原子濃度)をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。
試料表面付着物等を俯瞰的に調査することに適しています。

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用途/実績例 LSI・メモリ、電子部品、製造装置・部品、バイオテクノロジの分析です

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