一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量

最終更新日: 2016-03-10 13:33:15.0
赤外吸収法によりSiN膜中のSi-H,N-Hを定量

SiN膜中のSi-H及びN-H濃度をFT-IR分析により求めることが可能です。SIMS等の分析でも、水素濃度を求めることは可能ですが、全水素濃度であり、Siと結合した水素及びNと結合した水素をそれぞれ求めることは出来ません。FT-IRではSi-H伸縮振動とN-H伸縮振動が別の位置にピークを持つため、それらのピークを利用して、それぞれの水素濃度を求めることが出来ます。
Si基板上SiN膜中のSi-H及びN-H濃度を求めた分析事例を下記に示します。

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