一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】IGZO膜中H濃度評価

最終更新日: 2016-03-11 12:51:18.0
IGZO膜中Hについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能

IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。IGZO膜中のH濃度に応じてキャリア濃度が変化して電気特性が変動するため、IGZO膜を用いたデバイス特性および信頼性評価には膜中のH濃度を精度良く測定する必要があります。
SIMSを用いて加熱条件の異なるIGZO膜中のH濃度を評価した事例をご紹介します。

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用途/実績例 酸化物半導体の分析です

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