一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例

最終更新日: 2023-04-19 17:57:55.0
ライフタイム制御サンプルのキャリア濃度分析事例紹介

パワー半導体デバイスでは、ライフタイム制御のために、Si基板内に結晶欠陥を形成することがあります。ライフタイム制御領域の作成に用いられる元素の一つである水素イオンの熱処理条件の違いによるキャリア濃度分布を評価した事例を示します。

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用途/実績例 パワーデバイスの分析です

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