一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SRAの濃度換算について

最終更新日: 2023-03-29 16:46:08.0
SRA:広がり抵抗測定法

1. 斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗(Ω)を測定する
2. 標準試料の測定より校正曲線*)を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗(Ω・cm)に換算するまた、必要に応じて体積補正による分布の補正を行う
*)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります
3. 比抵抗とキャリア濃度の関係式*)を用いてキャリア濃度(/cm3) を算出する

基本情報

詳しいデータはカタログをご覧ください

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 パワーデバイス・LSI・メモリの分析です

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

製品・サービス一覧(663件)を見る