一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

最終更新日: 2023-04-07 16:06:43.0
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。
TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析が可能です。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品
分析目的:化学結合状態評価

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用途/実績例 ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品の分析です

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