一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】エタノールをつけた綿棒の残渣分析

最終更新日: 2024-06-06 09:29:11.0
TOF-SIMSにより光学顕微鏡で見えないシミや洗浄残渣の分析が可能

一般的に汚れを落とすために、綿棒にエタノールをつけ拭き取ることがあります。エタノールをつけた綿棒でSiウエハ表面を拭いた際、表面に何が分布するのかTOF-SIMSを用いて分析を行いました。
エタノールをつけた綿棒で拭いたSiウエハには、光学顕微鏡でみられないシミが分布しており、綿棒に起因することがわかりました。TOF-SIMSでは光学顕微鏡で見えないシミや、洗浄残渣の分析に有効です。

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